高温の誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）中に、試料を噴霧することでイオン化します。そのイオン化された原子を質量分析計（ＭＳ）に導入することで、質量／電荷数（m/z）に応じて分離し、元素を定性・定量分析することが可能であり、また質量分析であるため同位体比測定も可能な装置です。