本装置の本体は走査電子顕微鏡(SEM)です。走査電子顕微鏡で観察しながら対象物を探し、あるいは障害要因を見極めたうえで任意の箇所を元素分析します。観察倍率は15倍～数万倍であり、走査電子顕微鏡写真の撮影も可能です。

エネルギ分散Ⅹ線マイクロアナライザの特徴
本装置の本体は走査電子顕微鏡(SEM)です。走査電子顕微鏡で観察しながら対象物を探し、あるいは障害要因を見極めたうえで任意の箇所を元素分析します。観察倍率は15 倍～数万倍、走査電子顕微鏡写真の撮影も可能です。分析領域は数ミリ～数ミクロンの範囲で自由に設定できます。元素検索の領域は原子番号５番のＢ(ホウ素)から９２番のＵ(ウラン)までで、検出下限は0.1wt％前後、定量値も得られます。なお、条件によって異なりますが、１ミクロン前後の分析深度を有します。

付加価値の高いデータを提供
本装置は元素の組成を分析するだけでなく、任意の元素について分布図を表示することができます。カラーマップを用いれば、複数の元素の色別けや濃度に応じた色分けにより、更に精密なプロファイルが可能です。