グロー放電発光表面分析装置(GD-OES：Glow Discharge Optical Emission Spectrometry)は数十μmの深い領域から極表面(数nm～数十nm)の領域を短時間で一括分析できる最新の分析装置です。この装置は発光を利用した分析装置であるため感度が高く、H、C、N、O等の軽元素も分析可能です。