電界放出型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

保有設備

電界放出型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

電子線を照射された物質は二次電子、反射電子、X線等様々な信号を放出します。走査電子顕微鏡(SEM)は放出された二次電子や反射電子を検出して得られる像により、高倍率の観察が可能な装置です。弊社のFE-SEM、日本電子製JSM-7600Fはショットキー電界放出型電子銃を採用し、高い分解能を維持しつつ、安定した大照射電流を容易に得ることができます。このFE-SEMでは数十万倍までの高倍率観察が可能です。

   

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